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TG2U型光刻機
 
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商品名稱】:TG2U型光刻機 聯系電話】:010-51669522||13331091975
生産廠家】:同志科技 商品規格】:TG2U

商品簡介】:

産品特點:
TG2U型光刻機是制造中,大规模集成电路,传感器,表面波元件,磁泡,微波和CCD等器件的重要光刻设备。
欢迎您聯系我們获得光刻機(TG2U型)的更多信息。

備  注】:

TG2U型光刻機主要技术參數见下表:


項目

參數

適用的掩模尺寸

a.100X100X2-3mm;b.75X75X2—3mm;c.63X63X2—3(選購);

適用的矽片尺寸

φ35—75mm

光刻圖形線條

3-4μm, 最细可达2μm

掩模與矽片之間的相對位移範圍

X/Y±2.5mm,(族转) ±6°

承片台(矽片)繞主軸旋轉

粗調360度,可微調

承片工作台綜合移動範圍

X,Y合成φ75mm

承片台的球座平面至掩模板面升降

0—7.5mm

曝光燈源

GCQ200W超高壓汞燈,曝光波長,300―436nm

曝光系統能量不低于

7mw

曝光系統的照度均勻度在φ75mm範圍內

±5%

顯微鏡的照明波長

≈545nm

曝光時間控制範圍

0.1秒—99分

雙目顯微鏡的放大倍數

a.目鏡共二種:10X,16X;b.平視場物鏡共三種:6X,9X,15X;c.合成放大倍率:60X—240X;

真空接觸壓力

≥0.7kgf

裝箱尺寸

1000X850X980mm(2只)

裝箱重量

200kg

注:用戶有何特殊要求可協商。

 
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