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擴散爐TK180
 
擴散爐TK180
 
擴散爐TK1800
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商品名稱】:擴散爐TK180 聯系電話】:010-51669522||13331091975
生産廠家】:同志科技 商品規格】:TK180

商品簡介】:
擴散爐专门设计用于半导体材料扩散、氧化工艺;同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种渡膜(LPCVD)工艺。 窑炉采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,優質氣煉石英管作爲爐膛, 可預抽真空並可通入參與反應沈積的氣體。
   温度控制系统选用日本进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构,恒温区温度均匀。进口或国产气氛控制系统,质量流量计控制。设备具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特點,是理想企业的研制、生产设备。

備  注】:

主要技術參數見下表:


項目

參數

爐膛尺寸

ф180(外徑)×2200 mm

加熱區長

700 mm

溫區點數

3 /單管

工作溫度

RT1200 (最高爐溫 1250

控制精度

±1

報警保護

超温、欠温、断偶、等報警保護

升溫功率

12 KW/單管

重量

550 Kg

注:用戶有何特殊要求可協商。

 
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